根據(jù)關鍵元件的工作方式的不同，氣體質量流量傳感器大致可以分為科里奧利流量傳感器；基于熱學原理的質量流量傳感器：包括熱分布型、熱損失型和熱脈沖型；差壓式質量流量傳感器等。下面對這些傳感器的工作原理和結構特點做簡單的介紹。
（１）熱式質量流量傳感器
熱式傳感器的工作原理是：通過外加熱源將傳感器的感溫電阻加熱使其溫度高于環(huán)境溫度，當有氣流通過時，氣流的運動會帶走感溫電阻上的熱量，使得感溫電阻的溫度降低，通過測量感溫電阻溫度的變化來推算出所求的氣體質量流量，即通過傳感器將氣流的變化轉換為溫度的變化。
（２）科里奧利式
科里奧利式質量流量傳感器是對科里奧利力的具體運用，當有氣體流經(jīng)一個旋轉的管道時會在管道內(nèi)形成和質量流量相關的科里奧利力，通過測量旋轉管道中氣流產(chǎn)生的科氏力就可以直接獲得氣體的質量流量?？剖蟼鞲衅饔捎诒旧砉ぷ髟淼奶厥庑跃哂袦y量準確性高，復現(xiàn)性高，測量量程大，同時也可以測量各種性質的液體流量等優(yōu)點，被廣泛應用于石油、化工、制藥等工業(yè)領域，但是科氏傳感器存在重量和體積較大、對外界的震動干擾較為敏感等缺點，應用領域有一定的限制。
（３）壓差式
壓差式流量傳感器一般是由一對安置于一個縮小口徑兩側的節(jié)流件組成的傳感器，通過測量兩側的壓力差來獲得被測流量的體積流量，再通過體積流量和質量流量之間的轉化關系最終獲得流量的質量流量。壓差式流量傳感器是質量守恒定律和能量守恒定律的具體應用。從傳統(tǒng)的孔板式流量計到現(xiàn)在的塔型流量計，壓差式流量計己經(jīng)有上百年的發(fā)展歷史，也被廣泛應用于工業(yè)、能源、交通、環(huán)境等各個領域。壓差式流量傳感器的不斷優(yōu)化不僅代表了工業(yè)水平的不斷進步，更代表了人類對科學技術的更高追求，相信隨著微電子和ＭＥＭＳ行業(yè)的不斷發(fā)展，壓差式流量傳感器一定有更廣闊的發(fā)展空間。
